mooncm1989
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2. 전기회로 모양의 선탠자국 포토리소그래피의 원리는 간단합니다. 자외선을 쪼이게 되면 분자구조가 바뀌는 액체형태의 물질이 있는데, 이를 '포토레지스트'라고 부릅니다. 평평한 기판 위에 포토레지스트를 얇게 코팅하고 자외선을 쪼여주는데, 그 사이에 마스크'라는 것을 끼워줍니다. 그러면 코팅된 필름 위로 마스크가 드리우는 그림자 때문에 자외선이 닿아 분자구조가 변하는 부분이 있고 그렇지 않는 부분이 있습니다. 두 부분의 분자구조가 다르게되면 화학적인 방법을 통해 어느 한 쪽만 녹일 수 있는데 녹지 않고 남는 부분이 패턴이 됩니다. 후처리가 더 필요하긴 하지만 이 과정이 핵심입니다. 2장의 이미지를 보면 이해에 도움이 될 것입니다. 생각해보면 이 과정은 선탠과 비슷합니다. 피부가 햇빛에 오래 노출되면 색깔이 변하는데 옷을 입고 있으면 옷자국이 남습니다. 집적회로를 만드는 기술을 매우 미세한 선탠자국을 남기는 것과 비슷하다고 할 수 있을 것 같습니다. 사진출처 http://britneyspears.ac/physics/fabrication/photolithography.htm http://www.bit-tech.net/hardware/cpus/2010/06/10/how-to-make-a-cpu-from-sand-to-shelf/2
mooncm1989
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